الرطوبة شرطٌ بيئيٌّ شائعٌ للتحكم في تشغيل الغرف النظيفة. يتم التحكم في قيمة الرطوبة النسبية المستهدفة في غرفة أشباه الموصلات النظيفة لتكون في نطاق 30 إلى ...
في معظم الحالات، كلما انخفضت سرعة الرياح، كان استخدام فلتر الهواء أفضل. نظرًا لوضوح انتشار جزيئات الغبار الصغيرة (الحركة البراونية)، تكون سرعة الرياح منخفضة، ويستقر تدفق الهواء...
